技术参数及要求：

基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圆片，ZUI大100×100mm2 方片

转速：250-9000RPM

旋涂设置：任意阶段之间均可任意升降调节

转速稳定性：<±1%

旋涂均匀性：<1%

旋涂工艺阶段：6 段

旋涂时间：单步工艺0-1800s，可根据客户需求调节

整机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×248mm

裸机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×155mm

电机功率：40W

适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料

配套无油真空泵参数：

型号：KW-550A/KW-550T

抽速：1.5 升/秒

功率：320W

噪音：50db

ZUI低真空度：-700mmHg

重量：7.3Kg

尺寸(长宽高)：240mm×160mm×230mm

抽气速率：>60L/min