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Plasma Etch PE75等离子清洗机

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上海昭沅仪器设备有限公司

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产品介绍

美国产Plasma Cleaning System台式实验室等离子表面处理机

等离子表面处理机是一种非破坏性的表面处理设备,它是利用能量转换技术,在一定真空负压的状态下,以电能将气体转化为活性极高的气体等离子体,气体等离子体能轻柔冲刷固体样品表面,引起分子结构的改变,从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗,在极短时间内有机污染物就被外接真空泵彻底抽走,其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质,所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗器既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性,也能对样品进行消毒和杀菌。等离子清洗器现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。小型等离子清洗机以体积小、成本低、操作简便等特点广泛应用于科研及小批量生产场合。

PE成立于1980年,致力于提供电子行业用的等离子设备及相关服务。通过几十年的发展,公司发展成为提供等离子设备方面的专家,可为客户提供专业的产品和解决方案,先后众多知名企业提供等离子处理设备:美国宇航局NASA, 美国波音Boeing,电子保安系统产品制造商美国霍尼韦尔Honeywell,美国摩托罗拉Moto, 德国拜耳Bayer,世界军用飞机的领军企业美国洛克希德马丁Lockheed-Martin等等。

PE公司介绍

PE拥有多项***,在开发和制造等离子设备方面有许多突破性创新,拥有等离子体技术和制造技术领域里有优势的技术。这些**技术的产品线是公司独有的,生产的等离子设备是业界公认的集清洗速度、完整均匀性、安全可靠性为一体的等离子处理设备。

PE-75参数:

外部尺寸 18in X19in X 24in
真空腔材质耐用的焊接6061 T6铝合金真空腔
真空腔尺寸Φ254mm*273mm深
电极尺寸228mm*254mm,
等离子发生器功率 max.400w(可调)频率:50KHz(可选配13.56MHz)
供气气体流量控制器 0-25cc/min w/精密针形阀
压力测量热电偶真空计 0-1Torr
控制器PLC微电脑控制系统。方案工艺可以进行自动处理
安全保障一键急停按钮
电源220VAC,14A
附件(可选件)抽气装置:推荐型号:5 CFM 2级 直驱真空油泵

?氧气发生器

?附加第二气体通道。附加第二气体控制器,0-25cc/min

?125w/300w, 13.56Mhz可自动调节射频发生器

升级装置:?PC /笔记本电脑的控制系统:装载有等离子蚀刻软件的一台笔记本电脑是包括全自动系统操作,

流程排序,多配方存储,以及其他高级功能。

?质量流量控制器:附加质量流量控制器也可提供。

处理实例:ITO玻璃等离子处理后亲水性及比表面能对比

处理前:36号达因笔测试立刻收缩 处理后:50号达因笔 测试合格

功能:? 对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 (如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等)进行超AA清洗。

? 改变某些材料表面的性能。

? 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。

? 清除金属材料表面的氧化层。

? 对被清洗物进行消毒、杀菌。

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上海昭沅仪器设备有限公司

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