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似空科学仪器（上海）有限公司
日本
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583
载物台行程:450mm(X)x400mm(Y)x200mm(Z)
应用领域：
适用于中等尺寸零部件和对载物台上的多个工件执行序列测量
Type1~3 ： 中型尺寸PCB、冲压钣金件等
Type4/TZ ： 300mm晶圆、300mm探针卡等
TypeA ： 中型尺寸机械零件、塑料模制件等
类型1、2和3-标准倍率变焦头
Type10.5X~7.5X Type21X~15X Type32X~30X
类型1、2和3使用尼康15X变焦光学系统，具有长工作距离，宽视场（FOV）以及主达0.35的数值孔径。所有标准变焦头都配备LED落射、透射和内部/外部环形照明器，提供顶部照明光、底部照明光以及具有三种不同斜角照明光，确保清晰呈现模糊的边缘。
类型4和TZ-高倍率变焦头
Type4 4X~60X TypeTZ1X~X7.5/16X~120X
类型4和TZ使用尼康15X和120X变焦光学系统，具有更高的倍率精度和更高的数值孔么（0.46)。类型4配有LED落射、透射和环形照明器，提供顶部照明光、底部照明光和50度斜角照明光。TZ配有适用于主物镜镜头（16~120x)的落射、透射和暗场照明器，以及适用于辅助物镜镜头（1~7.5X）的LED落射和暗场照明器。
类型A-宽视场变焦头
TypeA0.35X~3.5X
类型使用尼康10X变焦光学系统，具有低部率精度范围内*宽的视场，*长的工作距离和**的数值孔么（0.11），而且它配备了LED落射、透射和环形照明器，提供顶部和斜角照明光。
8段LED内外环形照明器
Type1~3
类型1、2和3配有8段LED内外环形照明器，能够提供**照明条件，清晰呈现模糊的边缘。您可以从8个照明器段的任意方向选反37度、55度、和75度这三个斜角之一，还可以组合使用任意照明器段以及使用任意光强度。
改善不确定度
尼康全新线性编码器ModuRay配有非接触式读取头，有助于提高确定度。
规格
型号 | VMZ-R4540 |
XYZ行程 | 450X400X200 |
*小读取单位 | 0.1微米 |
被测物**重量 | 40kg |
测量精度 EUX、MPE EUY、MPE | 1.2+4L/1000um |
EUXY、MPE | 2+4L/1000um |
Z轴测量精度（激光自动对焦） | 1.2+5L/1000um |
摄像头 | 黑白1/3英寸CCD、彩色1/3英寸CCD（选购件）※ ※彩色摄头选购件只能与类型1、2和A配合使用。 |
物镜镜头的工作距离 | |
类型1、2和3 | 37度斜角时为50mm、55度斜角时为36mm、78度斜角时为10mm |
类型4 | 30mm |
类型TZ | 使用主物镜镜头时为11mm，使用左侧物镜镜头时为32mm |
类型A | 未使用激光AF时为73.5mm，使用激光AF时为63mm |
倍率和视场 | |
类型1 | 0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm |
类型2 | 1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm |
类型3 | 2~30X /2.33X1.75~0.155X0.117mm |
类型4 | 4~60X /1.165X0.875~0.07~0.068 |
类型TZ | 1~120X /4.67X3.5~0.039X0.029mm |
类型A | 0.35~3.5X /13.3X10~1.33X1mm |
自动对焦 | 类型1、2、3、4和TZ配备TTL激光AF和图像AF 类型A标配图像AF，激光AF作为选购提供 |
照明器 | |
类型1、2和3 | LED落射和透射照明器，8段LED内外环型照明器（内部环形照明器呈37度斜角，外部环形照明器呈55度和78度斜角） |
类型A | LED落射和透射照明器，呈18度斜角的8段LED环形照明器 |
电源 | AC 100-240V±10% 50或60HZ |
使用电流 | 5A-2.5A |
主机尺寸和工作台 | 1000X1340X1820mm/约500kg |
控制器尺寸 | 190X450X440mm /约15KG |
占地(含工作台上的PC) | 2300X1700mm |
