SKY® 电 容 膜 片 真 空 计

CDG100D

INFICON SKY CDG100D 真空计是高精度总压强测量和控制的**选择. 为达到优异的半导体和等离子

过程要求的性能， 将 CDG100D 真空计的温度控制于100°C. 全量程范围从100 毫乇 至 1000 乇， 配有全

部常用的法兰型式和 fieldbus 接口， 和提供线性的 0 至 10 伏与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容

真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好， 从大气压恢复快， 预热时

间短和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量， 成本效益好的压强传感器， 用于半导体， 等离子和各项

要求高的真空应用中.

优点

■ 低 CoO (拥有成本)， 50% 快速预热， 能效高， 功耗低

■ 易整合于系统中， 宽量程范围， 法兰和接口， 标准型号带有两个设点

■ 简易的一键操作或遥控讯号调零指令， 零点偏离可调

■ 诊断端口用于快速检修和维护

■ 两年保用期， 采用先进的加热概念和传感器保护， 真空计使用寿命长

■ 由于**的讯号稳定性和可重复性， 即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用，

无需重新校准

■ 承诺和标准: CE， EN， UL， SEMI， RoHS

用途

■ 刻蚀， PVD， CVD和其它半导体生产过程

■ 化学和腐蚀性高温过程

■ 需要真空计保护的常用薄膜和真空过程