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SimulTek原子氧源-原子氧测试

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303

产品介绍

SimulTek 原子氧源

采用激光轰击氧分子,形成中性氧原子束流,性能如下:

  1. 原子氧能量:4~7eV

  2. 原子氧束流通量大于5.0×1015 atoms/cm2/s

  3. 原子氧纯度大于95%

  4. 束流均匀性优于90%

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