μMLA

桌面式无掩膜激光直写机 / 光刻机

The Table-Top Maskless Aligner

适合科研领域的实验室与学术研究所

μMLA是新一代桌面式激光直写仪的技术，在科研微结构的应用领域中是一台入门级的工具。

μMLA具有灵活性和可定制性，可支持毫米大小范围的样品。

主要产业应用有：半导体芯片、微机电、微流体、微光学、传感器、掩膜版以及其它有微纳米结构需求的科研领域。

关于我们

Stella International

Stella International携手光刻技术**者-海德堡仪器公司，共同为客户带来综合应用效能，同时建立紧密的合作伙伴关系。

为了服务客户更广泛多元的应用领域，Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心，以海德堡原厂伙伴技术支援，提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究，这些年来已服务许多的大学，研究院所与企业前期研发单位。

总代理 品牌介绍

德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备 / 光刻机

HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上持续地改良、在各种应用上客制化。

应用范围包括：微电脑和纳米科技， MEMS， 平面屏幕， BGA， ASICS， TFT， Plasma Displays， Micro Optics， 和其他相关领域。

销售横跨欧洲、美国、亚洲等超过700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的伙伴。