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965
SVT Excel系列蒸发源在高真空或超高真空系统中，适用于生长有机化合物材料或蒸汽压非常高的材料。
所有的源**温度是600oC，采用热口设计，K型热偶。
对于4.5’’或更大接口的源，水冷却罩和集成挡板可选。
●用于有机化合物材料以及高蒸汽压材料
●热口设计
●多种法兰尺寸可选
温度范围 | 0 oC-600 oC |
功率 | 600W-1KW |
温度稳定性 | +/-0.1oC |
温度重复性 | +/-0.1oC |
热偶 | K型 |
坩埚容量 | *16cc，20cc，22cc， 40cc，60cc，150cc (有锥形壁坩埚均一性更高， PBN坩埚) |
标准长度 | *12’’(762.5px) |
法兰接口 | 2.75’’或4.5’’OD-CF |
电接插件 | 灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微型 |
