美国SVT小型MBE

SVT 公司生产的SMART NanoFab MBE 具有体积小容量大的优点。

可以多种生长模式集成于一个腔室。

桌面大小的超高真空腔室包含了一系列沉积源以及工艺监控仪器的端口。

装载室可以盛放多个样品，便于在超干净环境下操作样品。

集成电子控制柜以及烘烤系统使操作系统非常简便。

可容纳4或8个源。

应用

III-V，II-VI，II-Oxides，III-Nitrides以及其他材料；

想使用MBE并需要其他薄膜生长模式生长的材料

沉积源和检测仪器

蒸发源

单坩埚以及多坩埚电子束蒸发源

RF等离子体源

激光器烧蚀源

溅射源

气体入射源

RHEED以及RHEED分析软件

AccuFlux 原位工艺监控仪

QCM石英晶体速率监控仪

线性束流监控仪