热真空系统

NDT-4000热真空系统概述：NDT-4000是NANO-MASTER器件测试系统，用于极真空及可控均匀的加热和冷却循环套件下测试器件或样品。该系统具有计算机控制、安全连锁，以及多级密码授权访问保护的功能。它可以用于超过24小时的圈子全自动热、冷循环情况下测试器件/样品，温度条件通过程序定义。该系统*通常的应用之一是太空模拟。

系统腔体的大致尺寸为：直径24"，长度43"。带有一个16"x32"的滑动加热平，可以冷却到零下100摄氏度。热真空平台也可以加热到150摄氏度，具有高度的均匀度。在去边75px后整个平台的温度均匀度可达+/-1摄氏度。加热平台安装在滚轴上，可以方便拉出**到75%的长度，腔体提供20个RF连接头，尺寸为2.92mm，可以支持高达40GHz的频率。腔体的两侧分别有一个50针的引线。真空系统包含HiPace1200（1000 L/s抽速）涡轮分子泵以及一个ISP500干泵，系统的极限真空可达7x10-8Torr，20分钟内可达到10-6Torr级别。

另外，我们可以根据客户需要提供定制的引线、额外的仪器法兰以及真空泵升级等。

NDT-4000热真空系统应用：

Device Testing in Temperatures -100 ⁰C to 150 ⁰C in Extreme Vacuum for Space Simulation

用于模拟太空环境极真空下温度从-100 ⁰C 到 150 ⁰C情况下的器件测试

NDT-4000热真空系统产品特点：

·Controllable uniform heat and cold cycle conditions 可控的均匀加热行业冷却循环条件

·Computer controlled 计算机控制

·Safety interlocks 完整的安全联锁

·Multiple levels of access with password restrictions 4级密码访问保护

·Chamber size is 43” in length and 24” in diameter 腔体尺寸43”长，24”直径

·Sliding thermal platform of 16” x 32” cooled to -100⁰C 滑动式加热平台的面积为16”x32”，可冷却到-100⁰C

·Thermal platform can also be heated to 150⁰C with 3 cm exclusion zone around the edges achieving the uniformity of ±1⁰C throughout the platform

·热平台可加热到150⁰C，去边75px后平台的热均匀度可达±1⁰C

·Thermal platform is mounted on rolls so that it can be pulled out to 75% of its length for loading devices/samples 热平台安装在滚动轴上，可以拉出总长度的75%，便于器件/样片放置取出

·Chamber has a provision of 20 RF connectors 2.92mm size which can hold up to 40 GHz of frequency 腔体提供20个RF连接器，尺寸为2.92mm，可以支持到40GHz的频率

·Two 50 pin DC feedthroughs are also provided on either sides of the chamber 提供2个50 pin的DC直流引线，分别位于腔体的两端

·Vacuum system consists of turbo molecular pump and dry scroll pump 真空系统包含涡轮分子泵和干泵

·Base pressure 7 x 10-8 Torr， 10-6 Torr range in less than 20 minutes 极限真空7x10-8Torr，20分钟以内可以达到10-6Torr级别

·Custom feedthroughs 可根据客户需要提供引线定制方案

·Additional instrumentation flanges and pump upgrades can be done upon request 可根据用户需要提供额外的仪器法兰及真空泵升级

NDT-4000热真空系统软件：

·实时温度曲线

·程序开发

·全自动抽真空及卸压

·全自动温度控制

·实时涡轮速度、系统真空和温度监控

·两个Excel表的数据记录用于评估

NDT-4000热真空系统厂务要求：

·主腔体尺寸为：50"Hx50"Wx26"D

·制冷单元尺寸为：67"Hx36"Wx26"D

·制冷单元变压器：27"Hx23"Wx15"D

·电源要求：380V，3相交流电，35A/相

·主系统冷却水：20-30PSI，1.5gpm流速

·冷却单元冷却水：20-30PSI，5gpm流速

·N2：80PSI