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12寸全自动碱腐蚀机
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南轩(天津)科技有限公司
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70
1): 适用于6-12英寸的硅片腐蚀清洗功能
2): 去边规格0.4-1.5mm,去边精度±0.1mm,特殊规格支持定制;
3): 设备包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR机械手,机械模组,Buffer位,刻蚀槽,水洗槽,甩干位,储酸槽;
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