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单温区PE-CVD系统
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安徽科幂仪器有限公司
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单温区PE-CVD系统
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高性能射频电源.等离子体更稳定；
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区；
可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较，生长温度更低。
| 项目 | 型号 | TFE - 1200 - 50 - 220 |
| **温度 | 1150℃（短期） | |
| 额定温度 | 1100℃ | |
| 推荐升温速率 | ≤10℃/min | |
| 控制精度 | ±1℃ | |
| 炉管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
| 炉膛尺寸 | Φ80*220mm | |
| 加热区长度 | 220mm | |
| 恒温区长度 | 80mm | |
| 加热元件 | 优质国产电阻丝 | |
| 额定功率 | 3KW | |
| 供气系统 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | |
| 射频电源 | 射频功：5-500W； 射频频：13.56MHz； 匹配方式：自动匹配 | |
| 真空系统 | 双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等） | |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
