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石英晶圆通孔TGV
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江阴晶沐光电新材料有限公司
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晶沐光电
石英晶圆通孔TGV
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特性 | 石英 JGS1 | 石英 JGS2 | TGV工艺石英 | 高硼硅玻璃 BF33 |
材料类型 | 220nm - 2500nm | 中等纯度石英（天然或合成） | 高纯度石英（可能为合成或熔融石英） | 高硼硅玻璃（含硼氧化物） |
主要成分 | SiO₂（>99.99%） | SiO₂（>99.9%） | SiO₂（>99.9%） | SiO₂（约81%）、B₂O₃（约13%） |
羟基含量 | 高（约1000 ppm） | 低（约200 ppm） | 低（通常<10 ppm） | 低（<10 ppm） |
热膨胀系数 | 0.55 × 10⁻⁶ /K（极低膨胀） | 0.55 × 10⁻⁶ /K（极低膨胀） | 热膨胀系数低 | 3.25 × 10⁻⁶ /K（低膨胀） |
耐热性 | 极高（软化点约1700°C） | 极高（软化点约1700°C） | 极高，耐高温 | 较高（软化点约820°C） |
