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6&8 时过渡件

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湖南联合半导体科技有限公司

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品牌:

厚朴思

型号:

6&8 时过渡件

关注度:

53

产品介绍

6&8 时过渡件

产品介绍:

连接反应腔室和进气石英管,作为外延生长所需工艺气体的传输通道

适用机型:

SiC 外延水平6时&8 时机台



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