石墨舟是一种设计为舟形，可平铺放置多个工件，确保受热均匀的石墨模具，主要用于承载、固定或运输工件，常见于高温工艺（如光伏电池片的烧结、半导体工艺）。太阳能硅片的生产加工中有一道工序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率，这个工序就会用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中。经过一定的条件产生化学反应，在硅片表面镀一层膜。