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DUV/EUV光罩除尘机

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广东

产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

科毅科技

型号：

DUV/EUV光罩除尘机

关注度：

859

产品介绍

项目

参数

应用范围

用于3~5～200nmEUV 

同时兼容KrF/ArF 

配备

压缩空气滤清器、除静电离子风、X-Ray除静电系统

风刀角度

可手动调整高度&角度

风量压力控制

电子式气压控制


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