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超纯氢气纯化ZQH-M系列是芜湖中氢新能源科技有限公司自主研发的设备，可针对电解水制氢和瓶装粗氢等多种来源的含氢原料气，实现全自动化超纯氢制备，能够充分发挥膜提纯方式的经济、高效和稳定等优势，性能达到
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259 | 安徽 | 给我留言 |
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产品性能：应用于半导体行业LED、多用于MOCVD、HVPE（GaN工艺）废气处理多级喷淋，使易溶于水或与配置溶液反应生成沉积的物质，以达到有毒腐蚀气体的回收，达标气体的安全排放处理能力，科研型：50
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293 | 山东 | 给我留言 |
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产品性能：“热解+分解”方式，节能、高效处理太阳能电池PECVD等设备的废气，将SiH4进行高温热解，将NH3直接进行分解，无需氨水处理，无需燃气。处理能力，生产型：400/600/1000/1500
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321 | 山东 | 给我留言 |
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264 | 山东 | 给我留言 |
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氢破炉/氮化炉主要用于高性能稀土永磁材料如钕铁硼等磁性材料精细制粉工艺,，以及高性能磁性材料和功能性材料的氮化处理工艺等。产品性能：水平结构，外热旋转，优化的反应室结构设计，操作便利可带手套箱，研发型
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353 | 山东 | 给我留言 |
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278 | 山东 | 给我留言 |
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水平多室真空气氛炉主要用于高性能钐钴、钕铁硼等磁性材料、功能材料的精密真空气氛烧结、退火（快冷）等工艺。产品性能：双室/多室结构（工艺腔、装卸料冷却腔），烧结容积大，生产效率高石墨/钼等高温加热，内循
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281 | 山东 | 给我留言 |
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垂直真空气氛炉主要用于钐钴、钕铁硼磁性材料及功能材料的精密真空气氛烧结、退火、时效（快冷）等工艺。产品性能：真空度：10-3/10-4Pa~正压（0.4MPa）温区均匀性好，控温精度高，可快速冷却工作
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430 | 山东 | 给我留言 |
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水平真空气氛炉主要用于钐钴、钕铁硼等磁性材料、功能材料的精密真空气氛烧结、退火（快冷）等工艺。产品性能；内热式，多面加热，石墨/钨钼/RF等加热，高温度均匀性高真空度(10-4Pa~0.5/10MPa
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292 | 山东 | 给我留言 |
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主要用于半导体功率器件、电力电子器件、精密材料、高性能新材料（如陶瓷、陶瓷金属化等）的真空/气氛热处理（如烧结、封装、退火、时效等）等工艺。产品性能：200～1350℃/1600℃，6/3点控温钼（或
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285 | 山东 | 给我留言 |
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水平LPCVD是高质量大批量大尺寸石墨烯CVD法生长专用设备，多种工艺气体、生长压力、工艺温度、工艺过程计算机全自动控制。该设备亦可其他大衬底LPCVD法成膜沉积工艺
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304 | 山东 | 给我留言 |
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温度：500～2500℃，高温电阻/感应加热器，优化热场设计多温区石墨坩埚，升降，提拉，等径控制等腔体压力：1-10MPa，高压容器设计、制造及检测工艺类型：提拉、PVT
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317 | 山东 | 给我留言 |
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273 | 山东 | 给我留言 |
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260 | 山东 | 给我留言 |
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249 | 山东 | 给我留言 |
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286 | 山东 | 给我留言 |
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设备特点：化结构设计占地面积小灵活多样的工艺调整温区稳定，极高的可靠性高洁净度，极低维护使用成本产品性能：炉型结构：水平/垂直工艺温度可达1500℃（炉体可达更高的温度）小批量R&D为5～25
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275 | 山东 | 给我留言 |
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产品性能：*工作温度：200～1200℃/2200℃*结构方式：水平/垂直，片数：1/3/6/多片（科研/生产型）*多温区，动态高精度生长条件控制*低压、常压、微正压工艺方式，衬底片升降、旋转（厚膜/
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316 | 山东 | 给我留言 |
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产品性能：*垂直结构，5～50片/批*稳定优良的成膜均匀性，重复性好*微环境低氧控制先进技术*硅片颗粒度控制稳定，国际标准*多工艺选择，模块化，操作便利*全自动流程，盒对盒，AGV对接*高集成度，符合
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276 | 山东 | 给我留言 |
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产品性能：4~8寸晶圆工艺，每台1~4/5管恒温区：800/1000/1250mm温度：200～1300℃/1350℃全自动机械手装卸，悬臂/软着陆晶圆自动倒片，完整的工厂MES系统对接，符合SECS
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241 | 山东 | 给我留言 |