粉体行业在线展览
F300-EPI GaAs
面议
昂坤视觉
F300-EPI GaAs
1404
l 适用于GaAs EPI外延片
l 具备AOI、OCR等功能
l 兼容4 inch和6 inch晶圆
l 自研光学镜头: FOV ~15.6mm
l 缺陷检测空间分辨率:1.3μm x 1.3μm
l Review复查分辨率: 0.19μm x 0.19μm
l 缺陷检出率 ≥ 98%
l 缺陷误检率 ≤ 2%
l 缺陷重复性 > 95%
l 镭刻码OCR识别率 ≥ 99.9%(选配)
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
图形化晶圆缺陷检测设备
E3200 GaN缺陷检测设备
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
E3500 SiC 缺陷检测设备
F300-PSS PSS 缺陷检测设备
F300-EPI GaAs
COW/COT AOI芯片缺陷检测设备
F300-DPW
SPI300 晶圆形貌测量与分选设备
MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS
TH-F120
BL-GHX-VK
A500
线性压电纳米位移台MF40-25A
InSight 软包电池透射X射线衍射仪
ParticleX TC
SuperSEM N10
SLS-LED-80B
Lyza 3000
在线浊度计
SCI300