测量/计量仪器-Mu 9660 封测段缺陷检测设备-清软微视（杭州）科技有限公司-产品详情

Mu 9660 封测段缺陷检测设备

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清软微视（杭州）科技有限公司

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品牌：

清软微视

型号：

Mu 9660 封测段缺陷检测设备

关注度：

产品介绍

-多尺寸高精度缺陷检测：支持6"/8"晶圆（含碳化硅/Si/LT等材质），厚度覆盖150μm~1000μm；

-高吞吐设计：8英寸晶圆@2x镜达54WPH，6英寸@2x镜达100WPH；

-结合线阵扫描成像与实时对焦技术，确保成像清晰度与准确性＞95%

-缺陷叠图分析：支持4次检测结果坐标对齐及正/背面数据关联，助力失效分析；

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Mu 9660 封测段缺陷检测设备

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