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CDS供液系统
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声达半导体设备（江苏）有限公司
江苏
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江苏声达
CDS供液系统
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| 适用工件(Applicable parts) | 化学药液、抛光液/Chemist,Polishing |
| 批量产能：(Capacity) | 15L/min |
| 工艺流程： (Procedure flow) | 配液→混液→供液 Compounding→Mixing→Supplying |
| 主要材料： (Major material) | 金属骨架+PP壳板，泵体采用PVDF气动隔膜泵/全氟气动 风囊泵-Metal frame+PP shell plate,PVDF pneumatic pump/perfluor pneumatic pump |
| 其他说明： (Others) | 设备可以根据客户要求原液桶一备一用，可配置专用鹰嘴 抱桶车-Customerized with one use &one Spare |
| 适用工件(Applicable parts) | 化学药液、抛光液/Chemist,Polishing |
| 批量产能：(Capacity) | 15L/min |
| 工艺流程： (Procedure flow) | 配液→混液→供液 Compounding→Mixing→Supplying |
| 主要材料： (Major material) | 金属骨架+PP壳板，泵体采用PVDF气动隔膜泵/全氟气动 风囊泵-Metal frame+PP shell plate,PVDF pneumatic pump/perfluor pneumatic pump |
| 其他说明： (Others) | 设备可以根据客户要求原液桶一备一用，可配置专用鹰嘴 抱桶车-Customerized with one use &one Spare |
