粉体行业在线展览
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微波等离子体源
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成都华宇东升微波设备有限公司
四川
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华宇东升
微波等离子体源
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性能特点：
֍是具有高度灵活性的微波等离子发生器 ֍可以有效应用在各种精密复杂的科研实验中 ֍对于表面净化、超细清洗和表面活化及实时样品制备的分析方法多样化应用 ֍是广泛的操作范围内的气体流量和微波功率等不可缺少的先决条件 |
主要技术参数：
输出功率 | 260W － 1500W |
| 极限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
| 气体质量流量控制 | 多路 |
MPCVD设备培育的CVD晶种
高稳定程控微波源
微波传输系统
微波等离子体火炬（MPT）
微波等离子体源
电子回旋共振等离子体（ECR）系统
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— C型
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— B型
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— A型
TEM 热、电、气、液、冷冻样品杆
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