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CVD系列
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CVD系列
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CVD系列真空气氛管式炉广泛应用于胳、中、低温CVD工艺,例如;纳米粉体的转相、炭纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩散焊接以及真空或保护气氛下热处理。 采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;加热元件采用U型硅铝(炭)棒或原装竟口电阴丝;温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性,温度控制精度高 **温度可达1650度,其他参数按照用户提出系列要求来设计。 注:本公司可根据用户要求提供各种非标设计制造,欢迎来电咨询。