粉体行业在线展览
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BST-1400C-CVD
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安徽贝意克设备技术有限公司
安徽合肥
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贝意克
BST-1400C-CVD
905
一、设备组成
本设备适用于浮动催化法制备碳纳米管工艺，该设备包括有：气体流量控制装置、多温区反应器及加热装置、注液装置、固体收集装置、自动泄压装置、控制系统。
二、产品特色
1、反应器出口配有气体吹扫接口， 防止碳管在反应器出口堵塞。
2、进液口附近配有测温热电偶， 可以控制进液口的温度。
3、进液口活动式， 可以根据工艺需要的温度调整上下位置。
4、收集器排气口安装可转动式滤网，防止滤网堵塞。
5、设备配置有自动泄压装置， 压力超过上限时可自动泄压。
6、配置氢气报警器， 当检测到氢气含量超标时， 自动切断除惰性气体外的其他气体进气。
三、技术参数
炉管材质 | 刚玉管 |
炉管尺寸 | φ80mm（外径） |
加热元件 | 硅碳棒 |
工作温度 | ≤1350℃ |
温控系统 | 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为液晶触摸屏控制 |
控温精度 | ±1℃ |
加热区长度 | 750mm(3点控温） |
气路系统内部装有5路高精度质量流量计可准确的控制气体流量，按要求配比，配有1路鼓泡器 | |
控制范围 | 2～100％F.S. |
准确度 | ≤10SLM ±1％F.S.，＞10SLM ±2％F.S. |
线性 | ≤10SLM ±0.5％F.S.，＞10SLM ±2％F.S. |
重复精度 | ±0.2％F.S. |
响应时间 | ≤2 sec |
预抽真空泵抽速 | 30m³/H |
设备功率 | 18KW |
液态碳源调控注入系统 | |
注液规格 | 10ul-140ml |
工作模式 | 注入，抽取，注入抽取，抽取注入，连续模式 |
通道数 | 1 |
**行程 | 140mm |
行程分辨率 | 0.156um/ustep |
线速度范围 | 1um/min-150um/min |
线速度调节分辨率 | 1um/min |
行程控制精度 | 误差＜±0.35%（行程＞**行程30%时） |
冷却水要求 | |
制冷量 | 2361btu/h |
流量 | 不小于10L/min |
