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声学级铌酸锂晶体

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中国科学院上海光学精密机械研究所

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品牌：

上海光学

型号：

声学级铌酸锂晶体

关注度：

191

产品介绍

铌酸锂（ＬＮ）晶体具有优良的压电、电光、声光、非线性等性能。在民用领域有着广泛的用途，随着光电技术的发展，ＬＮ晶体还是较好的压电晶体，能用于制作中低频SAW滤波器，大功率耐高温的超声换能器等。

项目	名称	规格
1	铌酸锂基片和晶体	Φ2″Y轴Z轴X轴
2	铌酸锂基片和晶体	Φ2″64°Y-X
3	铌酸锂基片和晶体	Φ2″128°Y-X
4	铌酸锂基片和晶体	Φ3″Y轴Z轴
5	铌酸锂基片和晶体	Φ3″64°Y-X
6	铌酸锂基片和晶体	Φ3″128°Y-X
7	铌酸锂基片和晶体	Φ4″Y轴Z轴
8	铌酸锂基片和晶体	Φ4″64°Y-X
9	铌酸锂基片和晶体	Φ4″128°Y-X

基本性质（Basic Properties）

晶体结构 Crystal Structure	Trigonal, point group3m
晶格常数 Lattice Parameters	a=5.148, c=13.863
密度 Density	4.64g/cm3
熔点 Melting Point	1250℃
居里温度 Curie Point	1142±2℃
硬度 Mohs Hardness	5
介电常数 Dielectric Constant	ε11/ε0=85; ε33/ε0=29.5
电阻系数Thermal Conductivity	38W/m/℃at25℃
热膨胀系数 Thermal Expansion Coefficient	a1=a2=2×10-6/℃, a3=2.2×10-6/℃at25℃
压电常数 Piezoelectric Strain Constant	d22=2.04×10-11C/N,d33=0.6×10-11C/N,d15=7X10-11C/N，d31=-0.1X10-11C/N
Elastic Stiffness Constant	C11E=2.04×1011N/m2,C33E=2.46×1011N/m2,

声表面波级铌酸锂晶片（SAW Grade LiNbO3Wafer）

轴向

Orientation

64°rot.Y-cut ± 0.2°

127.86°rot.Y-cut ± 0.2°

Y-cut ± 0.2°

直径

Diameter

76.2mm±0.3mm

100.0mm±0.3mm

76.2mm±0.3mm

100.0mm±0.3mm

76.2mm±0.3mm

100.0mm±0.3mm

基准面

Orientation Flat (OF)

22mm±2mm

Perpendicular to X ± 0.2°

22mm±2mm

Perpendicular to X ± 0.2°

22mm±2mm

Perpendicular to X ± 0.2°

第二参考面

Second Refer. Flat (RF)

10mm±3mm

Cw180° ± 0.5° from OF

10mm±3mm

Cw225° ± 0.5° from OF

10mm±3mm

Cw270° ± 0.5° from OF

厚度

Thickness

500um ± 20um

350um ± 20um

500um ± 20um

350um ± 20um

500um ± 20um

350um ± 20um

传播表面

Propagating surface

“+” side

Ra ≤ 8

“+” side

Ra ≤ 8

“+” side

Ra ≤ 8

晶片背面

Wafer backside

GC#1000lapped & etched

0.2um≤Ra≤0.7um

GC#1000lapped & etched

0.2um≤Ra≤0.7um

GC#1000lapped & etched

0.2um≤Ra≤0.7um

TTV

≤ 10um

LTV

≤ 2.0um within an area of5×5mm2

PLTV

≥ 95% (3mmfrom edge excluded)

BOW

-25um ≤ Bow ≤ +25um

居里温度

Curie Temperature

1142℃±3℃(DTA method)

边缘倒角Edge Beveling

Edge rounding

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