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蜂窝垫

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东莞市中微力合半导体科技有限公司

广东

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

中微力合

型号:

蜂窝垫

关注度:

21

产品介绍

产品概述

主要优点在于孔深度比目前市面上的要深,故使用寿命长。孔间距跟孔大小比例优化**,配上我司自主研发的聚晶金刚石液磨削效率极高。

产品可以定制化,**一整张可以做到1300mm。产品不属于危险品,无需特殊包装,运输途中勿弯折即可。

应用领域

本蜂窝垫主要用于半导体晶圆片,如:蓝宝石、碳化硅晶圆及所有超硬脆材料的超精细研磨。

产品特点

  • 片材冲切,蜂窝网格槽结构均匀;

  • 背胶耐高温,粘性强,换盘不易残胶,表面平整;

  • 研磨精度高;

  • 肓孔深度深,使用寿命长;

  • 孔间距大小比例优化**,配上我司自主研发的聚晶金刚石液磨削效果**;

  • 可替代铜盘工艺,节能、环保、无污染。

产品规格及验证参数

 材料去除率
金刚石液D50
碳化硅
晶圆
蓝宝石
C向
氧化锆
陶瓷
氧化铝
陶瓷
氮化铝
陶瓷
氧化硅
ZW-301(3μm)22.53.5433
ZW-302(2μm)1.51.6332.52.3
ZW-303(1.5μm)11.222.521.5
ZW-401(1μm)0.811.2


ZW-501(0.5μm)0.40.50.8


ZW-601(0.2μm)0.20.3



ZW-40




2.5
不同型号磨液对应不同加工材料去除率;单位:μm/min (数据来源:中微实验室)


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