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人造金刚石

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东莞市中微力合半导体科技有限公司

广东

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品牌:

中微力合

型号:

人造金刚石

关注度:

26

产品介绍

产品概述

按照金刚石的种类区分:
人造金刚石大致可以分为单晶金刚石、聚晶金刚石和纳米金刚石,因此金刚石研磨液也可以分为单晶金刚石研磨液、聚晶金刚石研磨液和纳米金刚石研磨液。

按照分散介质区分:
广泛使用的金刚石研磨液的分散介质有以下三种:水性分散介质、油性分散介质和通用型介质(乳液型介质)。使用时应当根据具体的使用条件来选择合适的研磨液。

应用领域

配合蜂窝垫使用,应用于碳化硅晶圆、蓝宝石、氧化锆、氧化铝、氮化铝陶瓷基板等硬脆材料超表面精细研磨。

产品特点

  • 磨料类型多样化,可根据加工材料工艺要求选择合适粒度规格;

  • 载体类型选择多,包含水性、油性及乳化型;

  • 不同应用环境下粘度可调整,包含低粘度、中等粘度和高粘度;

产品规格及验证参数

 材料去除率
金刚石液D50
碳化硅
晶圆
蓝宝石
C向
氧化锆
陶瓷
氧化铝
陶瓷
氮化铝
陶瓷
氧化硅
ZW-301(3μm)22.53.5433
ZW-302(2μm)1.51.6332.52.3
ZW-303(1.5μm)11.222.521.5
ZW-401(1μm)0.811.2


ZW-501(0.5μm)0.40.50.8


ZW-601(0.2μm)0.20.3



ZW-40




2.5
不同型号磨液对应不同加工材料去除率;单位:μm/min (数据来源:中微实验室)


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