粉体行业在线展览
人造金刚石
面议
中微力合
人造金刚石
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按照金刚石的种类区分:
人造金刚石大致可以分为单晶金刚石、聚晶金刚石和纳米金刚石,因此金刚石研磨液也可以分为单晶金刚石研磨液、聚晶金刚石研磨液和纳米金刚石研磨液。
按照分散介质区分:
广泛使用的金刚石研磨液的分散介质有以下三种:水性分散介质、油性分散介质和通用型介质(乳液型介质)。使用时应当根据具体的使用条件来选择合适的研磨液。
配合蜂窝垫使用,应用于碳化硅晶圆、蓝宝石、氧化锆、氧化铝、氮化铝陶瓷基板等硬脆材料超表面精细研磨。
磨料类型多样化,可根据加工材料工艺要求选择合适粒度规格;
载体类型选择多,包含水性、油性及乳化型;
不同应用环境下粘度可调整,包含低粘度、中等粘度和高粘度;
材料去除率
金刚石液D50碳化硅
晶圆蓝宝石
C向氧化锆
陶瓷氧化铝
陶瓷氮化铝
陶瓷氧化硅 ZW-301(3μm) 2 2.5 3.5 4 3 3 ZW-302(2μm) 1.5 1.6 3 3 2.5 2.3 ZW-303(1.5μm) 1 1.2 2 2.5 2 1.5 ZW-401(1μm) 0.8 1 1.2 ZW-501(0.5μm) 0.4 0.5 0.8 ZW-601(0.2μm) 0.2 0.3 ZW-40 2.5