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氮化硅专用烧结炉

氮化硅专用烧结炉

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湖南维尚科技有限公司

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品牌:

维尚科技

型号:

氮化硅专用烧结炉

关注度:

1234

产品介绍

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氮化硅专用烧结炉采用非接触式高温测量设计、具有真空系统过滤保护与独特的脱蜡系统及尾气处理设计。主要对硬质合金、金属陶瓷等材料进行真空、加压,使产品密致化等。主要应用于航空航天、轨道交通、半导体等新材料领域。

产品参数


装料空间(W*H*L)500*500*1300、500*500*1500、500*500*1800
设计标准JB4732-1995(2005年确认版)
设计寿命20年/6000炉次
**温度2000℃
**压力10MPa
真空泄漏率≤5×10-3 mbarl/s
高压升压速率≤5bar/min
升温速率
(满载、<1000℃)
≤10℃/min
升温速率
(满载、≥1000℃)
≤6℃/min
温度均匀性≤±5℃
测温方式WRe5-26双芯热电偶
加热区数三区/四区
具备功能正压脱蜡、负压脱蜡、真空烧结、压力烧结、带电降温、加压快冷、真空冷却
工艺气体种类N2  Ar


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