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上出料管式炉

上出料管式炉

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沈阳中科汉达科技有限公司

辽宁

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

中科汉达

型号:

上出料管式炉

关注度:

4

产品介绍

技术参数

生长工艺

PVT

生长尺寸

6-8英寸

产品类型

非标定制

加热方式

感应加热(中频感应加热)

**温度

2400℃

控制方式

PLC集成控制

系统极限真空度

≤5.5×10-5 Pa (经烘烤除气后)

系统真空检漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷却方式

循环水路系统

系统停泵关机12小时后真空度

≤3Pa

双层立式石英管水冷结构提供稳定的长晶环境,利于生长高品质晶体,上下温度实时精确监控便于工艺调试,采用上下双测温精确监控提供更优的工艺调整,碳化硅感应式长晶炉适用于生长高纯度碳化硅单晶、高纯度碳化硅原料合成等

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