使用空间 (mm)

Φ200×300

Φ300×400

Φ400×1000

Φ500×1000

Φ600×1000

**容积（L）

9

28

125

196

282

加热功率

100 KW

160 KW

200 KW

250 KW

300 KW

频率

2000 Hz

2000 Hz

2000 Hz

1500 Hz

1500 Hz

**工作温度

3000°C

温度均匀性

( 在 1000°C和2200°C间)

±10°C

极限真空度

1.2×10^-3 mbar

可选高真空

5×10^-5 mbar

**升温速率

15°C/min (RT~1500°C), 10°C/min (1500°C~2500°C), 5°C/min (2500°C~3000°C)

压力上升

6.7×10^-3 mbar/hr

工作气氛

高真空（可选）/ 真空/ 惰性气体（氩气或氮气）

真空和高真空气氛仅允许在 2200°C以下

供电

3P, 380V, 50Hz/60Hz

冷却水压力

1.5～2.5 bar

冷却水温度

≤28 °C