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化学气相沉积炉
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上海金瑞纳材料技术有限公司.
上海
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金瑞纳材料
780
旋片泵:真空度在空炉冷态可达 1pa,(可选分子泵真空机组,真空度可达到6.67x10-5pa)
真空计:数显真空计实时显示真空度,精度高。
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