Research系列高真空中频感应炉，主要用于在高温、高真空环境或低压气氛保护下，对功能材料进行蒸发提纯、热处理、烧结、熔炼、生长等工艺制程，该设备采用公司专有高真空系统，能防止高温工艺制程对非金属功能材料表面的影响和侵蚀，采用中频感应电源加热匹配感应线圈，对石墨、铱金、钼、钨等难熔坩埚进行加热，具有效率高、稳定可靠的特点。

主要技术参数。

1.  加热方式：中频感应加热；

2.  **工作温度：2500℃长期运行；

3.  仪表控温精度：0.3级；

4.  坩埚尺寸：定制；

5.  具有升温速率调节功能；

6.  极限真空度：优于8×10-4Pa（冷态、空载）； 

7.  真空排气机组采用水冷匹配自然泄水方式；

8.  设备的漏率：低于6.0×10-6Pa·m3/s；

9.设备总功率：约50-120KW；