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1986
真空烧结炉
1976
单腔立式外延炉
1959
电磁烧网炉
1952
碳纳米管移动床
1951
XKLL-40A试验焦炉
1945
自身反碱蒸汽煅烧炉
1940
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1939
小型高温石墨化炉（试验炉型）
1928
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1925
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1902
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1900
电动滑轨炉热处理
1898
磷化铟单晶生长炉
1897
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1895
立式碳化石墨化炉
1894
气氛保护碳化炉
1893
氢氧化铝焙烧
晶体生长炉 KX360MCZ
1889
真空热处理炉
1883
立式窑
1880
石英砂卧式旋转氯化提纯炉 旋转加热炉
1879
高温高压炉式系统
1878
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