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碳化硅涂层CVD炉
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湖南烁科热工智能装备有限公司
湖南
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应用于半导体装备的石墨或陶瓷碳化硅涂层生产,具有工艺气体控制精度高、涂层均匀致密、涂层与基底结合良好、自动化程度高、可一键启动等特点。
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