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MProbe MSP显微分光光度计

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产品介绍

MProbe MSP

显微薄膜测量仪

MProbe让你成为测量专家

大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量：氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si， aSi，polySi)、半导体化合物(AlGaAs， InGaAs， CdTe，CIGS)、硬涂层(SiC， DLC)，聚合物涂料 (Paralene，PMMA，聚酰胺)，薄金属薄膜等。

厚度范围: 1 nm - 1 mm

波长范围: 200 nm -1700 nm

光斑尺寸:50 um -4 um

在薄膜太阳能电池中的应用: aSi， TCO， CIGS， CdS， CdTe-全太阳能堆栈测量LCD， FPD应用: ITO，细胞间隙，聚酰胺。光学涂层: 介质滤波器，硬涂层，防反射涂层半导体和电解质: 氧化物，氮化物， OLED堆

实时测量和分析。各种多层次的，薄的，厚的，独立的和不均匀的层。

丰富的材料库 (500多种材料) – 新材料容易增添。支持参数化材料:Cauchy， Tauc-Lorentz， Cody-Lorentz， EMA 等

使用灵活: 用TCP接口能容易的和外部系统连接。

测量参数: 厚度、光学常数、表面粗糙度

界面友好强大: 一键式测量和分析。强大的工具:仿真和灵敏度分析，背景和缩放修正，连接层和材料，多样品测量、动态测量和生产批量处理。.

氧化物(100 nm)测量，光斑尺寸40 um 波长范围:200 nm-1000 nm

MProbeUVVisNIR-MSP system

基本选项/参数

选项	产品描述	评析
-MXY[6 or 8]	电动平台为6” x6” (150 mm)或8”x8” (200 mm)。包含控制器和支持映射软件。步长0.5 mm，重复性1 um。	8”x8” 包含手工阶段作为所有模型的标准
-TOM	透光率测量配置。包括:玻璃插入的阶段，光源/电容器，光纤	适用于Vis和IR
-TOSwitch	使用相同的光谱通道结合了反射和透射系数测量	需要-TOM.详情参考单独小册
-APO100	APO 100X 物镜（可见物），95 mm 的等焦面，R=0.7 μm	10x，20x，50x and 8x UV-NIR 都包含在标准里
-CCD	相机目镜2 MP	其他的相机:UV， Vis， IR 均可用

型号	波长范围	光谱仪探测器/检测器/光源	厚度范围*
VIS-MSP	400-1100nm	分光仪 F4/Si 3600像素点/钨-卤素光源	15nm-20 μm (可多达50 μm)
UVVisSR-MSP	200-1000nm	分光仪 F4/ Si CCD 3600像素点/氘-钨卤组合式光源	1nm-20μm (可多达50 μm)
HRVIS-MSP	700-1000nm	HR分光仪F4/Si 3600 像素点/钨-卤素光源	1μm-400 μm
NIR-MSP	900-1700nm	传输光谱仪(TVG) F2/512 InGaAs/钨-卤素光源	100nm-200 μm
VISNIR-MSP	400-1700nm	分光仪 F4 Si CCD 3600 像素点(Vis channel)；传输光谱仪(TVG)F2/512 InGaAs PDA( NIR channel) 氘-钨卤组合式光源	15nm-200 μm
UVVISNIR- MSP	200-1700nm	分光仪 F4 Si CCD 3600 像素点(Vis channel)；传输(TVG)F2/512 InGaA(NIR channel) 氘-钨卤组合式光源	1nm-300 μm
XT-MSP	1590nm-1650nm	传输光谱仪 (TVG) F2/512 InGaAs/钨 -卤素光源	10μm-1mm

* T， n & k 测量的厚度范围为25nm – 5um

其他配置也是可以做到，欢迎原始设备制造商咨询和定制开发项目。

对所有系统中的配件有一年的质量保证。