Semiconsoft MProbe薄膜测厚仪

M p r o b e 让 你 成 为 测 量 专 家 !

大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量：

氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si， aSi，polySi)、半导体化合物(AlGaAs，InGaAs，CdTe，CIGS)、硬涂层(SiC， DLC)， 聚合物涂料 (Paralene， 聚甲基丙烯酸甲酯， 聚酰胺)， 薄金属薄膜等。

厚度范围: 1 nm-1 mm

波长范围: 200nm -5000nm

在薄膜太阳能电池中的应用:

aSi， TCO， CIGS， CdS， CdTe-全太阳能堆栈测量

LCD， FPD应用:

ITO， 细胞间隙，聚酰胺。

光学涂层:

介质滤波器，硬涂层，防反射涂层半导体和电解质: 氧化物，氮化物， OLED堆。

实时测量和分析。各种多层次的， 高强度的，厚的， 独立和不均匀的层 。

丰富的材料库 (500多种材料) – 新材料容易增添。

支持参数化材料:

Cauchy， Tauc-Lorentz， Cody-Lorentz， EMA 等?

使用灵活:

可联网在操作台桌面或现场进行研究与开发。用TCP或Modbus接口能容易的和外部系统连接。

测量参数：

厚度、光学常数、表面粗糙度。

界面友好强大:

测量和分析设置简单。背景和缩放修正，连接层和材料。

离线数据分析：

仿真和灵敏度分析，多样品测量，生产批量处理。

MProbe系统示意图

主要参数

* T， n & k 测量的厚度范围为25nm – 5um

其他配置也是可以做到，欢迎原始设备制造商咨询和定制开发项目。

对所有系统中的配件有一年的质量保证。