产品特性 / Product characteristics

• 可搭载多样蒸发源（EB、电阻式、EB+电阻式）。

• 对应不同制程可选多种基板holder（lift-off、行星式、卫星式等）。

• φ2 in〜 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷灯各种基板对应。

• 液晶触控板集中现实操作。

• 集成电脑拥有优异的操作性和性能（recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能）。

产品应用 / Product application

• Power Device等化合物相关

• LED、LD、高速device

• 各种实验用

• 其他各种电子部件