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边缘湿法刻蚀设备

边缘湿法刻蚀设备

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盛美半导体设备(上海)股份有限公司

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产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

盛美半导体

型号:

边缘湿法刻蚀设备

关注度:

874

产品介绍

主要优势

用于晶圆边缘多种不同叠加薄膜层的刻蚀清洗,提高先进工艺的晶圆边缘良率

高刻蚀精度,刻蚀宽度大小可调

自主**技术可做到更精准高效的晶圆对准,控制精度高、均匀性高,可实现精准边缘刻蚀

高产能,低化学品消耗

设备和工艺可扩展至10nm以下工艺技术节点

对下层材料刻蚀具有高选择比,对晶圆无损伤的特点

出色的晶圆边缘清洗能力,更好的颗粒控制

可灵活应用于多种衬底材料,包括重掺杂片、Bonding 片、超薄片等


特性和规格

适用于12寸晶圆边缘清洗

*多可配置4个Lord Port

可配置12个工艺腔体

真空夹盘对晶圆进行夹持

可对晶圆正背面边缘进行清洗,*多可配备5种药液进行清洗工艺

每个腔体均配置高精度的晶圆对中单元

可配置高精度的晶圆边缘检测单元


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边缘湿法刻蚀设备

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盛美半导体设备(上海)股份有限公司

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