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显影设备

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盛美半导体设备(上海)股份有限公司

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面议

品牌:

盛美半导体

型号:

显影设备

关注度:

667

产品介绍

显影设备

应用领域

• 曝光后烘烤 (PEB)

 

• 显影

 

• 坚膜

主要优势

三种显影方式集于一体

灵活的喷嘴扫描系统

技术先进,使用便捷

精确的药液控制


特性和规格

兼容8英寸和12英寸晶片

可配至*多四个显影腔体

双面工艺, 每个显影腔体内配有1到5套液体喷嘴

2到8个热盘

2到6个冷却盘


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