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磁控蒸发复合镀膜机JCPF2600

磁控蒸发复合镀膜机JCPF2600

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北京泰科诺科技有限公司

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品牌：

北京泰科诺

型号：

磁控蒸发复合镀膜机JCPF2600

关注度：

240

产品介绍

设备型号：JCPF2600

镀膜方式：磁控溅射

真空腔室结构：SUS304 方箱式

真空腔室尺寸：L2600mmxH700mmxW260mm

极限真空：优于 5.0x10-5Pa

基片台尺寸：300mmx400mm向下兼容300mmx300mm

基片温度：常温

溅射靶：矩形平面靶1套，旋转柱状靶2套

控制方式：PLC/PC 控制 ( 可选 )

占地面积：15000mmx5000mm

供电总功率：≥ 20kW 三相五线制


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