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电子回旋共振等离子体（ECR）系统
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成都华宇东升微波设备有限公司
四川
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华宇东升
电子回旋共振等离子体（ECR）系统
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性能特点：
֍具有无热阴极、电离度高的特点 ֍具有可忽略放电室壁的散射的特性 ֍能在低真空度下工作 ֍设备性能稳定，使用寿命长 |
主要技术参数：
微波源输出功率 | 260W － 1500W |
| 极限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
| 气体质量流量控制 | 多路 |
| 工作气压 | 1Pa - 200Pa |
| 磁场强度 | 0 - 1000高斯可调 |
| 偏压 | 0V - 300V |
MPCVD设备培育的CVD晶种
高稳定程控微波源
微波传输系统
微波等离子体火炬（MPT）
微波等离子体源
电子回旋共振等离子体（ECR）系统
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— C型
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— B型
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— A型
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