光源: 白光LED

系统组件

深层定位: 电动可调节到200 mm

X-Y定位: 圆柱直径为电动调节

可从70 mm调到155 mm

系统转动: 可手动旋转

Z-测量系统: WLI/压电式底座的测量范围为100um

测量转接器: 用于安装在气缸上的转接器

滚动箱 : 记录所有系统组件，包括工业PC对仪器的控制

评估: MountainsMap影像地形

镜头选项

放大倍数 10x 20x 50x

在平方微米的测量领域 1290x965 645x480 258x190

NA 0，3 0，4 0，55

z方向分辨率 <5 nm <5 <5 nm

XY方向分辨率 1，9 µm 1，0 µm 0，7 µm

选项

Cylanalyse 圆柱表面的分析评价