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电容薄膜真空计
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上海瓷熙仪器仪表有限公司
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上海瓷熙
电容薄膜真空计
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型号：CX-CFG500 类型：薄膜电容真空计
适用气体：不限气体种类 反应时间：10ms
测量范围：10pa ~1.0×10+5 Pa
供电：24 ±5 VDC /0.5A ；整机*大功耗1.0W
防护等级：IP40，IEC529
重量：250g 接口：标准 KF16 法兰
接触真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 灯丝, 馈通玻璃
CFG500系列薄膜电容真空规采用双片圆形薄陶瓷片封装成背压恒定的密封腔，当测量面出现真空负压时，陶瓷片呈穹弯型形变，前置陶瓷片与背景陶瓷片间距发生变化导致平行电极间电容发生变化，通过测量电容变化计算电极间距离变化，通过陶瓷弹性形变进而传感出真空压强。
产品实拍
高精度测量：±0.25%读数
对测量环境气体不敏感
抗腐蚀、抗粉尘、抗氧化
模拟电压输出：0.0～+10.0VDC
RS485 Modbus-RTU数字通讯
2路可设置控制开关
3键智能操作 5位LED数字显示
| 参数 | 数值 |
| 测量范围 | 10pa ~ 1.0×10+5 Pa |
| 测量精度 | ±0.25 % 读数 |
| 测量重复性 | ±0. 1% 全量程 |
| 测量分辨率 | 0.002% 全量程 |
| 长期稳定性 | 每年变化不大于满量程 ±0.5 % （不含环境变化因素） |
| 温度补偿范围 | -20º C ~ +80º C, ±0.01 %FS/ º C |
| 工作环境 | -10º C ~ +50º C； 5 ~ 85 %,不结露 |
| 供电电源 | +24V（±20%）/0.5A（适用+5.0VDC至+32VDC） |
| 电接口插座 | D-Sub 15 Pin，公 |
| 真空腔体 | 接口：DN16ISO-KF（其他可选）；*大承压：1.5×10+5 Pa |
| 重量 | 250g （DN16ISO-KF法兰） |
由于陶瓷材料的形变恢复无迟滞使得陶瓷薄膜电容规获得高稳定、高精度。
由于氧化铝陶瓷与氟系密封件的稳定性使得陶瓷薄膜电容规具有抗腐蚀、抗氧化能力。
由于采用机械形变传感真空压强使得陶瓷薄膜电容规对被测量气体不敏感特点。
