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Mars 4400半导体检测设备

Mars 4400

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中电科风华信息装备股份有限公司

山西

产品规格型号

参考报价：

面议

品牌：

中电科风华

型号：

Mars 4400

关注度：

产品介绍

产品描述：SiC晶圆腐蚀后的位错检测设备。设备采用微分干涉相差的光学显微成像技术，可进行全片扫描并采集完整数据，计算并自动统计位错数量与密度，生成位错密度图。

产品参数：

应用范围：SiC衬底切割片、研磨片、抛光片的位错检测分析(经KOH腐蚀)

可测晶片尺寸：标准4,6,8英寸及其它非标尺寸

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