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SiC晶圆表面载流子浓度检测

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品牌：

中科汇珠

型号：

SiC晶圆表面载流子浓度检测

关注度：

45

产品介绍

技术参数:

1)测试模式: MOS、Schottky

2)样品尺寸:直径≤200mm，非标样品或者碎片*小测试尺寸30mmX30mm

3)外延层载流子浓度测试范围:1E14-5E18cm-3

4)单点测试面积:0.018-0.027 cm2

5)汞接触面积重复性:1sigma<0.5%

获取更多信息，请访东莞市中科汇珠半导体有限公司网站

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SiC晶圆表面载流子浓度检测

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