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晶圆隐裂外观边缘检测设备-ADSE
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浙江芯晖装备技术有限公司
浙江
面议
芯晖装备
1164
应用场景
成型、抛光
检测缺陷
隐裂、崩边、划伤、线痕、化学脏污、边缘缺陷
检测精度
正反面:20um;隐裂:30μm;边缘:1.25μm
产能
160 WPH@300mm
产品特点
隐裂检、高产能、边缘检、低过检、ADC
晶圆种类
Ф6″、Ф8″、Ф
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