粉体行业在线展览
粉体行业在线展览
晶圆边缘检测设备-EDI
直接联系
浙江芯晖装备技术有限公司
浙江
面议
芯晖装备
晶圆边缘检测设备-EDI
1128
| 产品型号 | 晶圆边缘检测设备-EDI |
| 应用场景 | 成型、抛光 |
| 检测缺陷 | 崩边、裂纹、划伤等边缘缺陷 |
| 检测精度 | 边缘：1.25μm |
| 产能 | 85 WPH@300mm |
| 产品特点 | 缺陷分布、不良分类、ADC |
| 晶圆直径 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
晶圆铜雾离子检查设备-HD
晶圆表面及边缘检测设备-SEDI
晶圆边缘检测设备-EDI
XV1152 测试平台
晶圆隐裂外观检测设备(ADS)
XB1152 测试平台
晶圆隐裂外观边缘检测设备-ADSE
金属污染物M-SPEC系列
离子污染物I-SPEC系列
有机污染物O-SPEC系列
200mm硅片研磨设备
300mm硅片研磨设备
