粉体行业在线展览
DM-8000微波等离子体CVD设备
面议
和瑞微波
DM-8000微波等离子体CVD设备
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> 超洁净级的真空系统
> 全进口的集成化供气系统
> 样品台冷却系统采用Duel-Loop控制
> 自动化的工艺生长控制系统
> 在线视觉检测功能
(1) | 型号 | DM-8000 |
(2) | 电源 | AC380 V 三相五线制 50Hz, |
(3) | 微波输出功率 | 8kW ,2450MHz点频 |
(4) | 微波泄露 | ≤2mW/cm³@5cm |
(5) | 功率稳定度 | 1 %(@稳态) |
(6) | 有效沉积区域 | up to Φ 70 mm |
(7) | 样品台直径 | Φ120 mm |
(8) | 极限真空度 | ≤5 ×1 0-1 P a |
(9) | 真空漏率 | <1x10-9Pa.m³/s |
(10) | 单晶生长 | 生长速度10-15μm/H,单轮生长厚度≥1.6mm |
(11) | 单晶质量 | 色度H,肉眼无瑕疵 |
(12) | 气体种类 | 标配四路MFC:H2:1000sccm,CH4:100sccm,O2:10sccm,N2:5sccm;可扩展为5路 |
(13) | 压强控制范围 | 5-225 torr |
(14) | 压强控制精度 | ±0 . 1 T o r r |
(15) | 冷却水 | >65L/Min |
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