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HMPS-2060SP微波等离子体(CVD)系统
面议
和瑞微波
HMPS-2060SP微波等离子体(CVD)系统
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◆高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长。
◆多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等。
◆第三代高稳定固态功率源;上馈式圆柱型放电腔;
◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的产业化生产,材质表面处理、低温氧化物的生长等。
◆性能先进,安全、可靠性强、重现性好,操作简便。
◆多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护。
(1) | 型号 | HMPS-2060SP |
(2) | 电源 | AC380±10% V 三相五线制 50Hz,额定输入<18KVA |
(3) | 微波输出功率 | 0.5~6kW 连续可调 |
(4) | 功率稳定度 | 1%(@稳态) |
(5) | 纹波 | ≤1% |
(6) | 微波频率 | 2450MHz±50MHz |
(7) | 测温方式 | 红外300~1400℃ |
(8) | 极限真空度 | 6×10-6torr |
(9) | 腔体内工作压力 | 7torr~250torr |
(10) | 样品台 | Φ60mm |
(11) | 样品台轴向调节范围 | 0-60mm |
(12) | 工作气氛 | 五路(可用户定制) |
(13) | 微波泄漏值 | <5mW/cm2 |
(14) | 工作环境 | 温度15-40℃,相对湿度≤60%,无腐蚀性气体 |
(15) | 冷却水 | >37L/Min |
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