AJA Intemational的ATC Orion系列磁控溅射系统是ATC Flagship旗舰系列下的一款高性价比的紧凑型物理气相沉积设备。Orion系列的高真空和超高压真空溅射系统都沿用了许多ATC溅射系统的成熟设计和通用配件。标准的ATC Oron部件(腔体，框架，集群法兰等)一股都有现货，因此我们能够有效缩短设备交货时间。Orion 8有一款特殊设计的系统，可以集成4个2"磁控溅射靶源，可原位偏转。ATC Orion系列溅射系统可以轻易相互连接或是连接其他ATC系统，集成多腔(如，金属氧化物)或多功能混合系统(如，溅射/蒸发/PLD/离子束刻蚀)。