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AJA磁控溅射靶

AJA磁控溅射靶 超高真空&高真空

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重庆眺望科技有限公司

重庆

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面议

品牌:

重庆眺望

型号:

AJA磁控溅射靶 超高真空&高真空

关注度:

34

产品介绍

AJA从1991年成立以来已经研发了上百种不同类型的磁控溅射靶,其中包括许多定制化溅射靶。根据基片几何形状、腔室结构、靶材材料组成和薄膜规格的不同需求可选择不同型号溅射靶,如矩形,圆形,塔式和圆柱形独特的模块磁铁组合·独有的模块化磁铁组合,磁铁完全和冷却水隔离,因而不会造成磁铁的劣化,进而导致溅射靶源性能的衰减。此种设计可以方便用户接触内部磁铁组合,便于靶枪的维护和清洁:

工作于平衡磁控状态

**化靶材利用率

进行高或低溅射速率

工作于多种非平衡磁控态

进行均匀性或者有意为之的不均匀性沉积

到达基片表面的高或低电子能量

溅射较厚的磁性靶材

方便更换或拆卸磁性靶材

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AJA磁控溅射靶

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