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气浮转台
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深圳市博创新半导体装备有限公司
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气浮转台
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Machine features
该产品具有承载大、径向和轴向刚度高、角刚度好、高度低的特点；同时由于其隔尘设计，更加适应生产加工环境。是各种高精度测量、光学测量组装加工、芯片半导体测量加工、全物理仿真模拟设备等行业的**选择。
Technical Parameter
| 项目 | AB-30 | AB-50R | AB-50 | AB-80 | AB-100 |
|---|---|---|---|---|---|
| 径向刚度（N/μm） | 12.7 | 24.5 | 49 | 34.3 | 55.9 |
| 径向度常用负载（N） | 25.4 | 49 | 98 | 68.6 | 111.8 |
| 径向刚度极限负载（N/μm） | 31.8 | 61.3 | 122.5 | 85.8 | 139.8 |
| 轴向刚度（N/μm） | 19.6 | 35.3 | 35.3 | 205.8 | 323.4 |
| 轴向刚度常用负载（N） | 39.2 | 70.6 | 70.6 | 411.6 | 646.8 |
| 轴向刚度极限负载（N） | 49.0 | 88.2 | 88.2 | 514.5 | 808.5 |
| 径向旋转精度（μm） | 0.07 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 轴向旋转精度（μm） | 0.04 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
| 极限旋转转速（rpm） | 30000 | 20000 | 22000 | 15000 | 10000 |
| 空气消耗量（NI/min） | 4 | 6 | 12 | 8 | 10 |
| 惯性力矩（kg•㎡） | 1.23×10.5 | 1.92×10.4 | 2.47×10.4 | 1.32×10.3 | 4.85×10.3 |
| 质量(kg) | 0.3 | 1.5 | 2.3 | 3.9 | 8.5 |
| 项目 | AB-150 | AB-200 | AB-250 | AB-300 (受注生产) | AB-400 (受注生产) | AB-600 (受注生产) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 径向刚度（N/μm） | 98 | 166.6 | 205.8 | 392 | 333.2 | 392 |
| 径向度常用负载（N） | 196 | 333.2 | 411.6 | 784 | 666.4 | 784 |
| 径向刚度极限负载（N/μm） | 245.0 | 416.5 | 514.5 | 980.0 | 833.0 | 980.0 |
| 轴向刚度（N/μm） | 558.6 | 705.6 | 1176 | 1234.8 | 1705.2 | 2400 |
| 轴向刚度常用负载（N） | 1117 | 1411 | 2352 | 2470 | 3410 | 9800 |
| 轴向刚度极限负载（N） | 1397 | 1764 | 2940 | 3087 | 4263 | - |
| 径向旋转精度（μm） | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.09 | 0.05 |
| 轴向旋转精度（μm） | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 极限旋转转速（rpm） | 5000 | 3000 | 2500 | 1500 | 500 | 120 |
| 空气消耗量（NI/min） | 15 | 20 | 35 | 40 | 40 | 100 |
| 惯性力矩（kg•㎡） | 2.98×10.2 | 6.00×10.2 | 2.77×10.1 | 6.3×10.1 | 1.30 | - |
| 质量（kg） | 22 | 39 | 77 | 110 | 153 | 580 |
